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Analytical X-ray apparatus provided with a solid state position sensitive X-ray detector

机译:设置有固态位置敏感型X射线检测器的分析型X射线设备

摘要

Each detector element 44 in a solid state position sensitive detector (PSD) could provide a low charge efficiency per X-ray quantum; moreover, a comparatively high stray capacitance 104 could exist between the take-off electrode 90 and the semiconductor material 86, 88, 92 whereto it is connected. These effects will give rise to a low signal-to-noise ratio, thus degrading the signal. According to the invention, the analog charge amplifiers 58 are constructed in integrated bipolar technology and their read-out circuitry 48 is embodied in digital technology, preferably in a BICMOS process in the form of the Current Mode Logic (CML) technique. Moreover, the digital signal processing circuitry may be accommodated on the same substrate as the charge amplifiers.
机译:固态位置灵敏探测器(PSD)中的每个探测器元素 44 可能会降低每个X射线量子的充电效率;此外,在引出电极 90 与半导体材料 86、88、92 之间可能存在较高的杂散电容 104 。连接的。这些影响将导致较低的信噪比,从而使信号降级。根据本发明,模拟电荷放大器 58 以集成双极技术构造,并且其读出电路 48 以数字技术实现,优选地,在BICMOS工艺中以数字技术实现。电流模式逻辑(CML)技术的一种形式。而且,数字信号处理电路可以被容纳在与电荷放大器相同的基板上。

著录项

  • 公开/公告号US6815684B2

    专利类型

  • 公开/公告日2004-11-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 PANALYTICAL B.V.;

    申请/专利号US20010008335

  • 申请日2001-11-08

  • 分类号G01T12/40;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 23:17:58

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