首页> 外国专利> MEMS-BASED SPATIAL-LIGHT MODULATOR WITH INTEGRATED ELECTRONICS

MEMS-BASED SPATIAL-LIGHT MODULATOR WITH INTEGRATED ELECTRONICS

机译:具有集成电子功能的基于MEMS的空间光调制器

摘要

Method and apparatus for forming an array (12) of reflective elements (18) for spatial light modulation. The array includes a substrate (24) supporting electronically addressable actuators (20), each associated with a corresponding reflective element, a coupling attaching each actuator to the corresponding reflective element to place each reflective element in a substantially planar surface. Each electronically addressable actuator responds to predetermined addressing from a processing circuit (26) to reposition the corresponding reflective element out of the planar surface a predetermined distance identified in the predetermined electronic addressing.
机译:用于形成用于空间光调制的反射元件(18)的阵列(12)的方法和设备。该阵列包括支撑可电子寻址的致动器(20)的基板(24),每个致动器与对应的反射元件相关联;将每个致动器附接至对应的反射元件的联接器,以将每个反射元件放置在基本平坦的表面中。每个可电子寻址的致动器响应于来自处理电路(26)的预定寻址,以将相应的反射元件从平面重新定位在预定电子寻址中标识的预定距离。

著录项

  • 公开/公告号WO0239171A1

    专利类型

  • 公开/公告日2002-05-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TRUSTEES OF BOSTON UNIVERSITY;

    申请/专利号WO2000US41917

  • 发明设计人 HORENSTEIN MARK;BIFANO THOMAS;

    申请日2000-11-06

  • 分类号G02B26/00;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-22 00:36:28

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号