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Method and apparatus for enhancing the efficiency of radiant energy sources used in rapid thermal processing of substrates by energy reflection

机译:通过能量反射提高在基板的快速热处理中使用的辐射能源效率的方法和设备

摘要

A rapid thermal heating system which includes a plurality of radiant energy sources to irradiate a predetermined area of a substrate. The radiant energy sources are associated with reflectors wherein portions of radiated areas of adjacent radiant energy sources overlap. The reflectors include a flared specular surface at their light emitting end or outlet. The flared specular surface reflects radiant energy toward the substrate.
机译:一种快速热加热系统,其包括多个辐射能量源以辐射基板的预定区域。辐射能源与反射器相关联,其中相邻辐射能源的辐射区域的一部分重叠。反射器在其光发射端或出口处包括张开的镜面。喇叭形的镜面表面向基板反射辐射能。

著录项

  • 公开/公告号US6072160A

    专利类型

  • 公开/公告日2000-06-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;

    申请/专利号US19960659064

  • 发明设计人 SUNEET BAHL;

    申请日1996-06-03

  • 分类号C23C16/00;F21V7/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 01:36:59

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