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Method and apparatus for enhancing the efficiency of radiant energy sources used in rapid thermal processing of substrates by energy reflection

机译:通过能量反射提高在基板的快速热处理中使用的辐射能源效率的方法和设备

摘要

A rapid thermal heating system which includes a plurality of radiant energy sources (39) to irradiate a predetermined area of a substrate (81). The radiant energy sources are associated with reflectors (159) wherein portions of radiated areas of adjacent radiant energy sources overlap. The reflectors include a flared specular surface (160) at their light emitting end or outlet. The flared specular surface reflects radiant energy toward the substrate.
机译:一种快速热加热系统,其包括多个辐射能量源(39)以辐射基板(81)的预定区域。辐射能量源与反射器(159)相关联,其中相邻辐射能量源的辐射区域的一部分重叠。反射器在其光发射端或出口处包括张开的镜面(160)。喇叭形的镜面表面向基板反射辐射能。

著录项

  • 公开/公告号EP0811709A3

    专利类型

  • 公开/公告日1998-08-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;

    申请/专利号EP19970303855

  • 发明设计人 BAHL SUNEET;

    申请日1997-06-03

  • 分类号C30B31/14;C23C16/04;H01L21/00;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-22 02:49:56

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