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Process for rapid thermal treatment to maintain silicate glass coatings

机译：快速热处理以保持硅酸盐玻璃涂层的方法

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摘要

The present invention is based on the discovery that rapid thermal processing (RTP) can convert hydrogen silsesquioxane resin coatings to ceramic silica coatings. This technique is especially valuable for the application of protective and dielectric layers on electronic devices.

机译：本发明基于以下发现：快速热处理（RTP）可以将倍半硅氧烷氢树脂涂层转化为陶瓷二氧化硅涂层。该技术对于在电子设备上应用保护层和介电层特别有价值。

著录项

公开/公告号DE69117353T2

专利类型
公开/公告日1996-09-05

原文格式PDF
申请/专利权人 DOW CORNING US;
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申请/专利号DE1991617353T
发明设计人 CHANDRA GRISH US;GENTLE THERESA EILEEN US;
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申请日1991-05-31
分类号H01L21/312;H01L21/56;H01L21/316;C08J3/28;C04B41/50;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 03:41:27

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