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An apparatus for coating a plastic substrate, preferably of a polymethyl methacrylate - substrate, with metals

机译：用金属涂覆塑料衬底的设备，最好是聚甲基丙烯酸甲酯-衬底

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in a method for coating a substrate (1) polymethylmethacrylat with aluminium, with the help of a direct current source is used (10), which in a evakuierbaren beschichtungskammer (15a) and electrode (5) is connected electrically with a target (3) combined stand t, and the dispersed particles is atomized on the substrate (1), anwith the beschichtungskammer (15, 15a) prozeu00dfgase einbringbar, to improve the strength and durability of the layer (2) in a first beschichtungsschritt an argon plasma with extremely short duration in the beschichtungskammer (15, 15a) is maintained.to the sputterprozeu00df produced by oxide to metallic process bypasses and into a second beschichtungsschritt helium gas in the beschichtungskammer (15, 15a) with a helium plasma and gas in a third beschichtungsschritt argon gas in the beschichtungskamme r (15, 15a) with an argon plasma is ignited and,with the argon plasmaprozeu00df to reach the thickness is maintained.

机译：在用铝涂覆衬底（1）的方法中，使用铝（10），在直流电源的帮助下（10），在evakuierbaren beschichtungskammer（15a）和电极（5）中与目标（3）电连接合并支架t，然后将分散的颗粒与beschichtungskammer（15，15a）喷嘴一起雾化在基材（1）上，以提高在第一beschichtungsschritt氩气等离子体中的层（2）的强度和耐久性。保持在beschichtungskammer（15，15a）中的持续时间极短。由氧化物到金属工艺旁路产生的溅射proze u00df并进入beschichtungskammer（15，15a）中的第二beschichtungsschritt氦气中，并带有氦等离子体和第三种气体使用氩气等离子体点燃beschichtungskamme r（15，15a）中的beschichtungsschritt氩气，并保持氩气等离子体达到厚度。

著录项

公开/公告号DE4004116A1

专利类型
公开/公告日1991-08-14

原文格式PDF
申请/专利权人 LEYBOLD AG 6450 HANAU DE;
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申请/专利号DE19904004116
发明设计人 SICHMANN EGGO DIPL.-ING. 6460 GELNHAUSEN DE;FRITSCHE WOLF-ECKART DIPL.-PHYS. 8752 KLEINOSTHEIM DE;SCHLÜSSLER JIM 6466 GRÜNDAU DE;
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申请日1990-02-10
分类号C23C14/34;C23C14/38;C08L33/12;C08J7/06;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 05:49:20

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