公开/公告号JPH0231490B2
专利类型
公开/公告日1990-07-13
原文格式PDF
申请/专利权人 HUGHES AIRCRAFT CO;
申请/专利号JP19830502621
发明设计人 PAASONSU JEEMUZU DEI;
申请日1983-07-22
分类号H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/08;C30B25/14;H01L21/31;H01L21/70;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 06:22:51