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机译:立式Coryu科学研究所的印刷对策
公开/公告号JPS60501234A
专利类型
公开/公告日1985-08-01
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号JP19830502621
发明设计人
申请日1983-07-22
分类号H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/08;C30B25/14;H01L21/31;H01L21/70;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 08:20:53
机译: 立式Coryu科学研究所的印刷对策