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Sn-Doped group III(a)-v(a) Ga-containing layers grown by molecular beam epitaxy

机译:通过分子束外延生长的Sn掺杂的III(a)-v(a)含Ga层

摘要

In order to insure that the doping profiles of Sn-doped Group III(a)- V(a) Ga-containing layers grown by molecular beam epitaxy follow relatively closely the time-intensity profile of the dopant beam, the substrate temperature should not exceed about 550°C.
机译:为了确保通过分子束外延生长的Sn掺杂的III(a)-V(a)Ga含Si层的掺杂分布相对严格地遵循掺杂剂束的时间强度分布,衬底温度不应超过约550℃。

著录项

  • 公开/公告号US3941624A

    专利类型

  • 公开/公告日1976-03-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 BELL TELEPHONE LABORATORIES INCORPORATED;

    申请/专利号US19750563078

  • 发明设计人 ALFRED YI CHO;

    申请日1975-03-28

  • 分类号H01L21/203;H01L21/363;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-23 01:35:27

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