从磁性金属基磁电子学到半导体硅基磁电子学

摘要

文章利用磁电阻效应设计了一种硅基MR原型器件。此硅基MR器件可以在同一器件上在弱磁场和强磁场下用作磁传感器,而巨磁阻材料和有机磁组材料制备的磁传感器只能工作在弱磁场下。同时硅基MR传感器可做在同一硅芯片上,可更方便地集成到成熟的半导体工业中。

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