首页> 中文会议>第十一届中国光伏大会暨展览会 >RF-PECVD法制备微晶硅籽晶层的研究

RF-PECVD法制备微晶硅籽晶层的研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

为了便于研究微晶硅材料的性能和结构，以及改善微晶硅在异质衬底上的成核和生长，在RF-PECVD(13.56 MHz)条件下，研究了微晶硅籽晶层的制备方法。研究发现，在没有籽晶层的情况下，制备出的材料将主要是非晶结构，随着籽晶层制备条件的改变，材料由非晶向微晶过渡，晶化程度逐渐提高。经过优化，籽晶层在厚度为数十纳米的条件下晶化率可达60％以上，在籽晶层上采用不同的沉积条件，可以制备出不同晶化程度的微晶硅材料。

著录项

来源
《第十一届中国光伏大会暨展览会》|2010年|398-401|共4页
会议地点南京
作者
靳果; 蔡宏琨; 陶科; 王林申; 张德贤;
展开▼
作者单位

中国可再生能源学会;

江苏省光伏产业协会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类结构;
关键词
硅太阳能电池; 微晶硅材料; 非晶结构;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. RF-PECVD制备微晶硅薄膜的X射线衍射研究 [J] . 蔡宏琨 ,张德贤 ,何青 . 人工晶体学报 . 2007,第3期
2. 采用高压RF-PECVD法制备高电导、高晶化率的p型微晶硅材料 [J] . 侯国付 ,薛俊明 ,袁育杰 . 人工晶体学报 . 2007,第1期
3. 溶液法生长碘化汞籽晶层的机理研究 [J] . 郭炎飞 ,许岗 ,谷智 . 西安工业大学学报 . 2014,第008期
4. 本征微晶硅薄膜和微晶硅电池的制备及其特性研究 [J] . 张晓丹 ,高艳涛 ,赵颖 . 人工晶体学报 . 2005,第2期
5. 籽晶法YBCO超导块材的制备及其磁化性能研究 [J] . 蔡传兵 ,傅耀先 ,孙越 . 功能材料与器件学报 . 1996,第1期
6. RF-PECVD法制备微晶硅薄膜的性能研究 [C] . 王远 ,蔡宏琨 ,仲玉泉 . 第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会（CPVC12） . 2012
7. 籽晶层法制备氢化微晶硅薄膜材料及其在薄膜太阳电池中的应用 [A] . 靳果 . 2011

RF-PECVD法制备微晶硅籽晶层的研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅