CMOS工艺兼容红外焦平面阵列的设计及制作

著录项

• 来源
  《第九届全国光电技术学术交流会》|2010年|27-30|共4页
• 会议地点 北京
• 作者

  明安杰; 陈大鹏; 欧文; 王玮冰; 何伟; 刘占峰;

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• 作者单位

  中国宇航学会;

  中国航空学会;

  中国兵工学会;

  中国光学学会;

  中国电子学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 红外探测、红外探测器;BICMOS（双极-MOS混合）集成电路;
• 关键词

  红外焦平面阵列; CMOS工艺; 器件制作;