AIN基板用的无铅化银浆的研究

摘要

本文选择B2O3-BaO-Li2O-SiO2-ZnO的体系玻璃代替PbO-SiO2-B2O3的体系的有铅玻璃,通过玻璃相、反应相和混合粘结相3种方式研究ALN基板用的银浆。得到一种混合粘结的方阻为1.86mΩ/□,粘结强度11.33 N/mm2银导体浆料。

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