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一种MEMS谐振梁的热弹阻尼分析

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热弹阻尼是高Q值微结构器件能量耗散的主要机理,文中介绍解析理论评估热弹阻尼,但此理论只适用于简单模型。对于复杂模型的分析,采用数值计算方法。文中利用有限元分析方法评估一种MEMS谐振器中由于热弹阻尼引起的能量耗散,并考虑电极、材料特性等因素的影响.有限元计算结果与实际实验结果一致性良好,从而为高Q值MEMS谐振器的设计提供了有力的设计方法。

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来源
《第11届全国敏感元件与传感器学术会议》|2009年|84-86|共3页
会议地点杭州
作者
陈福华; 吴礼龙; 易建希; 隆雪明; 周玉洁;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN628.1;
关键词
微结构器件; MEMS谐振器; 热弹阻尼; 能量耗散; 有限元分析;

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