消除TFT-LCD玻璃气泡缺陷对策

摘要

TFT-LCD玻璃生产生的气泡将严重影响玻璃的外观质量和性能.本文分析了TFT-LCD玻璃生产气泡来源及其种类,测试了澄清不良泡和空气卷入气泡的气体种类、含量,分析其特征,提出了消除气泡缺陷的测试判定与分区控制的思路.当产线气泡缺陷异常升高或波动时,首先分析气泡缺陷对应产生区域工艺条件变化,同时留样分析气泡类型特征,根据气泡缺陷类型特征与对应区域工艺稳定性做对比,若两者情况符合,则锁定区域并进行减少气泡工艺的调整。当气泡异常波动,查看工艺无明显变化时,则根据气泡类型特征做针对性分析,专题对策。

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