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基板玻璃内部缺陷检测系统构造、原理及问题分析

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本文主要对面检机与复检机的构造和检测原理进行概述,并结合检测原理对使用过程中出现的问题进行原因分析.面检系统中主要包括面检机与复检机两大部分,面检机具有缺陷的变形量检测能力,并能够分辨缺陷的种类,而复检主要有缺陷的再分类与层面位置确认的功能.面检自动检查机采用透射光检测方法，有20光源使用627nm的红外线，并有两种不同的光源:个照明装置和与之对应的20个摄像头，TB光源和TD光源，透射光源通过缺陷后，在相机的CCD上将光信息进行接收，并通过检测系统转化为图片，面检机通过图片的灰度变化等光线信息进缺陷识别分类。复检机采用超高解象镜头，灵敏度高，具有高速拍照功能，自动聚焦，根据面检机提供的缺陷坐标，对每个缺陷拍3张照片，提供缺陷在玻璃上中下的位置资料。复检利用反射光对板子的缺陷进行确认，可通过照片信息对缺陷进行新的分类与判定。

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来源
《2016光电子玻璃及材料技术交流研讨会》|2017年|172-177|共6页
会议地点北京
作者
韩春; 侯宏荣; 杨荣; 蔡进松; 潘庆龙;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ171.65;
关键词
基板玻璃; 缺陷检测; 面检机; 复检机;
入库时间 2022-08-17 10:12:40

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