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全氯取代酞菁锌的合成及其Cl2气敏性研究

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本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料,采用钼酸铵固相催化法合成了全氯取代氯酞菁锌,并通过红外、紫外光谱对其进行了表征.在SiO2基片上,利用MEMS微加工技术制造了敏感电极,采用蒸发镀膜工艺制作了气体传感器薄膜.气敏测试结果表明:该传感器对氯气有较理想的灵敏特性。

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来源
《第12届中国湿度与水分学术交流会暨第十届全国气湿敏传感器技术交流会》|2008年|250-253|共4页
会议地点江西景德镇
作者

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作者单位

中国电子学会;

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212:TP204;
关键词
全氯取代酞菁锌; 气敏性; 气体传感器;

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