低压扩散在晶硅太阳电池中的应用

摘要

低压扩散是一种通过改善炉管气密性、增加真空系统实现的扩散方式,真空系统提供低压力氛围,从而增加三氯氧磷分子平均自由程,提高扩散均匀性、稳定性和成膜致密性;通过低压扩散工艺,可以获得均匀的p-n结构,更易实现浅结高方阻扩散工艺,提升电池转换效率.同时低压扩散以其优异的方阻均匀性大大提高单管产能,降低制造成本.

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