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以热均压制备Cr-Si靶材及其性质之研究

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高温金属的硅化物在高温时具备良好的物理以及化学性质,故被广泛应用在高温严苛的环境之下.随着薄膜成长的技术日趋进步,对靶材的需要也相对提高。然而,某些靶材会因为制作过程的关系而导致纯度上或结构上有缺陷,这当中包括了成分偏析、晶粒粗大与多孔而不致密等等。而这些缺陷我们可以利用热均压(Hot Isostatic Pressing,HIP)来消除,以得到高相对密度、成分均匀、晶粒细致与等方向性结构的材料。热均压乃是利用高温高压的氩气,来去除材料内部的孔洞及缺陷,其作用包括:去除铸件孔隙、改善机械性质、使粉末材料及表面蒸镀物具一致性和借扩散键结改善焊接完整性。热均压适用于广泛的材料,特别是是铝合金、工具钢、钛及超合金、蒸气涡轮零件、医学植入、自动化铸件与粉末冶金、靶材制作等工业. 在本研究中,我们利用热均压来制备Cr-Si靶材,而在前处理方面分为封罐法与非封罐法两大类,借此比较两者之间的差異,并进行一系列的测试与分析,进一步讨论大量生产的可行性。

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来源
《2007全国粉末冶金学术及应用技术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会》|2007年|344-349|共6页
会议地点北京
作者
谭中雄; 张世贤; 李世钦; 陈贞光; 何信弘; 薄慧云;
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作者单位

中国金属学会;

中国有色金属学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类铬及其合金;
关键词
铬硅靶材; 封罐; 热均压; 孔隙;

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