首页> 中文会议>2014年核磁共振技术及应用研讨会 >亚微米量级空间分辨力的光反射热成像技术的原理及应用

亚微米量级空间分辨力的光反射热成像技术的原理及应用

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文介绍了基于光反射原理的热成像技术的需求背景、技术原理、性能参数和典型应用,该技术可以实现200nm-300nm之间的空间分辨力,可以有效地分析微小结构的热分布情况,且能实现低频、高频的瞬态热成像.其突出的空间分辨力适用于微电子器件及MEMS器件的温度检测;同时由于可见光反射率随材料特性的变化,该技术在半导体材料测试方面还存在一些不足.目前,该技术在国外已经被广泛地用于光电子器件、微电子器件、MEMS器件的热分布测试与分析的工作.

著录项

来源
《2014年核磁共振技术及应用研讨会》|2014年|44-48|共5页
会议地点北京
作者
Zhai Yuwei; 翟玉卫; Liang Faguo; 梁法国; Wu Aihua; 吴爱华;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表协会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试、调整及设备;
关键词
电子器件; 热分布测试; 光反射热成像技术; 空间分辨力;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 半导体器件用显微红外热成像技术原理及应用 [J] . 翟玉卫 ,郑世棋 ,刘岩 . 计测技术 . 2018,第006期
2. 弹簧压缩量级对轻量级冲击量级的分析研究 [J] . 孙海 ,徐海明 ,李晶 . 环境技术 . 2021,第005期
3. 动态电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米IC失效分析中的应用研究 [J] . 王勇 ,李兴鸿 . 半导体技术 . 2004,第7期
4. 亚微米、深亚微米LDD MOSFET的衬底电流模型中特征长度改进的描述(英文) [J] . 于春利 ,杨林安 ,郝跃 . 半导体学报：英文版 . 2004,第9期
5. 亚微米/深亚微米的栅氧清洗技术 [J] . 徐政 ,郑若成 ,何磊 . 电子与封装 . 2003,第003期
6. 40台SPECT四象限铅栅法固有空间分辨力和线性稳定性检测的研究 [C] . 洪浩 ,耿建华 ,陈盛祖 . 2020中国医学装备大会 . 2020
7. 彩色电视成像系统空间分辨力检测技术研究 [A] . 田冰心 . 2015

亚微米量级空间分辨力的光反射热成像技术的原理及应用

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅