预曝光对于连续浮雕微结构制作的影响

摘要

简述了预曝光在极坐标激光直写法制作连续浮雕微结构技术中的作用原理及应用,研究了预曝光技术对于连续浮雕微结构制作的影响规律,提出了在极坐标激光直写法制作连续浮雕微结构过程中替代预曝光的方法。

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