用涡流方法检测银薄膜厚度

摘要

利用涡流传感器和涡流检测仪器,测量了厚度为40~800 nm的银薄膜,得出了厚度与电压关系曲线,据此研制了数字化膜厚测量仪表.结果表明,涡流方法是无损快速测量金属薄膜厚度的有效方法.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号