硅单晶炉用环形永磁磁体设计

摘要

本文设计并研制出了钕铁硼三环永磁磁体结构并应用于3英寸直拉单晶炉,克服了电磁线圈和超导磁体拉晶的缺点。使得磁力线在径向有辐射式合理分布,有利于单晶中氧、碳含量的控制,且磁场强度连续可调。实际测量表明,设计结果较好地满足了单晶生长要求。

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