首页> 中文会议>首届七省区市机械工程学会科技论坛 >真空电弧源镀制TiO<,2>薄膜研究

真空电弧源镀制TiO<,2>薄膜研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文在真空条件下利用真空电弧源在不同基底材料上镀制了 TiO2薄膜。对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强和偏压等因素进行了研究。X 射线衍射结构分析结果显示 TiO2薄膜主要以锐钛矿相为主及少量的金红石相。对 TiO2薄膜的物理性质、化学性质进行了初步检测。

著录项

来源
《首届七省区市机械工程学会科技论坛》|2005年||共4页
会议地点北京
作者
周友苏; 张立珊;
展开▼
作者单位

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类金属复层保护;
关键词
真空电弧源; 薄膜; X 射线衍射;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 阴极电弧源镀制TiO_2薄膜的研究 [J] . 周友苏 ,张立珊 . 现代制造工程 . 2003,第z1期
2. 脉冲真空电弧离子镀沉积类金刚石薄膜的结构和力学性能研究 [J] . 周顺 ,严一心 . 西安工业大学学报 . 2004,第004期
3. 增强型脉冲离子源镀制DLC薄膜拉曼光谱研究 [J] . 陈朝平 ,朱昌 ,郭芮 . 真空科学与技术学报 . 2006,第3期
4. 离子束辅助真空电弧沉积TiO_(2-x)N_x薄膜及抗菌性能研究 [J] . 成晓玲 ,胡社军 ,胡永俊 . 功能材料与器件学报 . 2010,第6期
5. 轴向磁场强度对真空电弧离子镀TiN薄膜的影响 [J] . 徐焱良 ,王向红 ,赵彦辉 . 南昌大学学报（理科版） . 2014,第005期
6. 脉冲离子镀技术镀制DLC薄膜附着力研究 [C] . 杭凌侠 ,徐均琪 ,严一心 . 第十一届全国薄膜学术交流会 . 2001
7. 用离子源助镀法蒸镀TiO2薄膜研究 [A] . 张倩 . 2014

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号