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基于ESPI技术的物体缺陷自动识别技术

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电子散斑干涉技术是变形和缺陷检测的重要技术方法,具有非接触、动态特性好、灵敏度高等优点.在缺陷检测中,以变形为载体,通过变形分布上的异常判别缺陷是否存在和大致位置.在这个过程中,如何摆脱人的主观判断,实现缺陷的自动识别,一直是一个技术难点.本文以实现缺陷自动识别为目标,探讨了电子散斑干涉技术的物体缺陷识别技术.总结了ESPI实现系统和变形测量的主要算法,包括时域相移干涉仪中算法、空域载波相移干涉仪中算法及空域相移干涉仪中算法,分析了各自的特点并进行了归类.描述了变形与缺陷之间的关系.讨论和总结了缺陷的时域识别方法和空域识别方法.分析了基于变形梯度的缺陷识别方法,并进行了改进.改进的方法引入了调节因子,提高了缺陷区与非缺陷区之间的界限,从而提高了该方法的缺陷识别能力。

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来源
《第五届全国精密工程学术研讨会》|2005年|173-178|共6页
会议地点深圳
作者
柴东; 王亮亮; 于瀛洁;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类干涉与衍射;
关键词
ESPI; 缺陷自动识别; 变形检测; 变形梯度; 电子散斑干涉; 时域相移干涉仪;

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