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光镊技术在驱动三维微器件中的应用

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摘要

简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用，并对几种典型光驱动方式进行了比较，最后对利用光镊技术驱动光聚合微机械器件的发展前景做出分析。

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来源
《中国光学学会2004年学术大会》|2004年||共4页
会议地点杭州
作者
祝安定; 刘宇翔; 黄文浩;
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作者单位

中国光学学会;

浙江省光学会;

浙江大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光能加工设备及其加工;
关键词
光镊; 光学微加工; 光驱动; 三维微器件;

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