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光镊技术在驱动微机械器件方面的应用

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简要介绍了光镊的工作原理及近年来光镊在操纵、驱动双光子光聚合加工出的微机械器件方面的主要应用,对几种典型光驱动方式进行了比较,对微机械转子模型进行了理论计算,分析了试验参数对驱动效率的影响.并对光聚合微机械器件的光驱动发展前景做出分析.

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来源
《2003年中国机械工程学会年会》|2003年|117-123|共7页
会议地点深圳
作者
祝安定; 刘宇翔; 汪飞; 夏安东; 黄文浩;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
光镊; 光学微加工; 微机械; 光驱动;

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