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基于激光捕捉技术的纳米加工

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阐述激光捕捉技术（光镊）的基本原理。将几个微米的高强度微粒子（如金刚石、碳化硅等）作为微加工工具，在光镊的驱动下在加工表面产生移动、高速转动及振动，从而完成微米乃至纳米级的加工任务。建立了满足最佳加工条件的实验装置，通过操纵微粒子的运动，实现对硅表面的纳米加工，并通过实验比较，定性分析最佳加工条件（如激光功率和加工基底参数）。

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来源
《中国光学学会2004年学术大会》|2004年||共4页
会议地点杭州
作者
王晓娜; 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; 白剑; 侯西云; 杨国光;
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作者单位

中国光学学会;

浙江省光学会;

浙江大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光能加工设备及其加工;
关键词
激光捕捉; 光镊; 纳米加工;

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