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高温薄膜压力传感器的研制和应用

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溅射薄膜压力传感器采用了现代薄膜工艺技术,用陶瓷介质代替了传统应变式压力传感器的粘贴胶层,所以在高温压力测量领域有很好的应用前景.结合航天飞行器的需求,我们进行了-35~+150℃和-35~+200℃高温、小量程压力传感器的研制.传感器的敏感元件的结构设计采用了硬心圆膜片设计,敏感元件制作工艺采用了先进的离子束溅射沉积和离子束溅射刻蚀工艺.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|432-438|共7页
会议地点北京
作者
张世名;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
薄膜压力传感器; 敏感元件; 弹性体; 离子束溅射(IBS); 离子束刻蚀(IBE);

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