首页> 中文会议>第八届敏感元件与传感器学术会议 >静电激励/电容拾振谐振梁敏感结构的机理研究

静电激励/电容拾振谐振梁敏感结构的机理研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文主要通过对静电激励/电容拾振的谐振梁敏感结构的分析,从理论上对静电激励和电容拾振的原理、动态和静态特性以及输入输出信号的幅值和相位关系进行了深入的研究,对进一步研发微机械谐振传感器具有现实意义.

著录项

来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|228-233|共6页
会议地点北京
作者
李雪莹; 周浩敏; 刘广玉;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
谐振梁敏感结构; 静电激励; 电容拾振; 谐振式传感器;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 硅微机械悬臂梁谐振器的电热激励及光纤拾振技术的研究 [J] . 张少君 ,赵小强 ,刘月明 . 西安理工大学学报 . 2005,第002期
2. 微谐振梁的激振与拾振研究 [J] . 陈健 ,陈德勇 ,王军波 . 传感技术学报 . 2006,第006期
3. 微谐振器的单端口静电激励-电容检测方法研究 [J] . 樊尚春 ,陈晨 ,邢维巍 . 传感器与微系统 . 2012,第007期
4. 硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究 [J] . 邢维巍 ,彭振江 ,樊尚春 . 计测技术 . 2012,第S1期
5. 单端口静电激励/电容检测谐振器的谐波分析 [J] . 樊尚春 ,陈晨 ,邢维巍 . 振动、测试与诊断 . 2013,第004期
6. 一种NEMS谐振器的新型电容拾振结构 [C] . 杨磊 ,于虹 . 第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 . 2007
7. 多层结构微梁微板谐振器的热弹性阻尼机理与模型 [A] . 左万里 . 2016

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号