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压电薄膜悬臂梁结构的建模和性OO能模拟

摘要

用ANSYS软件建立了压电薄膜悬臂梁结构的有限元模型,对悬臂梁进行了结构静力分析、模态分析,计算出了悬臂梁的谐振频率和振型.对基于压电薄膜悬臂梁结构的微麦克风和扬声器进行了灵敏度计算和谐波响应分析.

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