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Si<,3>N<,4>微尺度薄膜比热特性测量研究

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比热是Si<,3>N<,4>薄膜重要的热学参数之一,Si<,3>N<,4>薄膜比热特性研究对热传原理传感器研究和发展以及物质微尺度热学特性的研究有重要的意义.本文设计并制作出一种悬膜结构,从理论上分析了此结构的传热机理,并通过实验测得Si<,3>N<,4>薄膜的比热,最后分析了此测量系统存在的误差及解决方法.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|94-97|共4页
会议地点北京
作者
宋青林; 夏善红; 陈绍凤; 张建刚;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;
关键词
比热; 悬膜; 温度系数;

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