Si3N4微尺度薄膜比热特性测量研究

著录项

• 来源
  《测控技术》 |2004年第3期|5-69|共3页
• 作者

  宋青林; 夏善红; 陈绍凤; 张建刚;

  展开▼
• 作者单位

  中国科学院,电子学研究所,传感技术国家重点实验室,100080;

  中国科学院,电子学研究所,传感技术国家重点实验室,100080;

  中国科学院,电子学研究所,传感技术国家重点实验室,100080;

  中国科学院,电子学研究所,传感技术国家重点实验室,100080;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的性质;
• 关键词

  比热; 悬膜; 温度系数;