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高精度4'硅片腐蚀装置的研究

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高精度4'硅片腐蚀装置是采用硅微机械制造技术(MEMT)和硅微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一.它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4'硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好,效率高.本文结合攻关项目的研究成果重点介绍了"高精度4'硅片腐蚀装置"的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点以及设备的主要关键技术,并一同给出了设备的性能测试指标.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|361-364|共4页
会议地点北京
作者
刘沁; 张纯棣; 匡石;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.15;
关键词
微机械系统; MEMS; 传感器; 各向异性腐蚀; 硅;

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