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碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌的影响

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摘要

碱性腐蚀工艺条件对硅片表面腐蚀形貌如粗糙度、显微镜下的表面状况的影响做了研究,通过实验结果给出了特定要求条件下硅片腐蚀的最佳方案.运用硅的化学腐蚀机理分析了表面腐蚀状况的原因.

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来源
《电子工业专用设备》 |2011年第3期|28-30|共3页
作者
孙俭;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220;

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正文语种 chi
中图分类表面处理;
关键词
腐蚀; 表面形貌; 硅片;

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