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硅压力传感器的非线性的研究

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本文分析了硅压力传感器的线性与非线性,讨论了非线性产生的原因,并且提出了硅压力传感器的优化设计方法.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|442-445|共4页
会议地点北京
作者
沈桂芬; 付世; 丁德宏; 姚朋军; 张宏庆; 范军;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
压力传感器; 非线性; 线性度; 内补偿;

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