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基于PZT压电薄膜的微麦克风

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采用Sol-Gel方法制备了高品质的硅基PZT薄膜,利用微机械加工技术,实现了基于PZT压电薄膜的微麦克风.对芯片级和封装后的压电微麦克风进行了测试,测试表明本文制备的微麦克风具有可靠性高,频带宽的特点.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|429-431|共3页
会议地点北京
作者
杨轶; 张林涛; 张宁欣; 伍晓明; 王海宁; 蔡坚; 任天令; 刘理天;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类传声器（微音器）;
关键词
压电微麦克风; PZT; MEMS;

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