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Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量

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本文使用WVASE32型椭偏仪,主要针对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析;对PMMA材料和氟化聚酯材料进行测量,根据测量结果对AWG器件进行了设计;同时探讨了对多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜的测量方法.

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来源
《中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议》|2003年|61-62|共2页
会议地点牡丹江
作者
姜文海; 赵禹; 王菲; 崔占臣; 张大明; 刘式墉; 衣茂斌;
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作者单位

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类化合物半导体;集成光学器件;
关键词
列阵波导光栅; 聚合物薄膜; 光学系数; 多层有机薄膜; 氟化聚合物薄膜; 阵列波导光栅器件; 椭圆偏振测量;

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