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铁电薄膜热释电非制冷红外探测器研制

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摘要

叙述了铁电薄膜热释电非制冷红外探测器的探测原理,对铁电薄膜材料的要求.研究了BST铁电薄膜热释电红外探测器的制备工艺与测试方法.研制出8元、9元和10元铁电薄膜热释电非制冷红外探测器.

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来源
《2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会》|2003年|49-52|共4页
会议地点武汉
作者
刘梅冬; 李元昕; 陈实; 李楚容; 曾亦可; 姜胜林; 邓传益; 刘少波;
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作者单位

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外探测、红外探测器;
关键词
铁电薄膜; BST; 热释电性; 非制冷红外探测器; 制备工艺;

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