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Monte Carlo模拟有特殊几何边界试样的扫描电镜成像衬度

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本文采用蒙特卡洛模拟方法研究电子在有几何边界的试样表面附近及内部的相互作用,有助于理解扫描电子显微镜的成像机制和图象衬度机理.

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来源
《第二届全国扫描电子显微学会议》|2003年|514-515|共2页
会议地点珠海
作者
李会民; 丁泽军;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类近似计算;电子光学仪器;
关键词
扫描电子显微镜; 蒙特卡洛模拟; 几何边界试样; 衬度; 二次电子;

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