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紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用

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研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用.实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究.结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽比,为结构复杂的三维微机械电感的制作提供了保证.

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来源
《第七届"测量与控制在资源节约、环境保护中的应用"学术会议》|2003年|247-248|共2页
会议地点沈阳
作者
李雯; 谭智敏; 薛昕; 刘理天;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电感器、线圈、扼流圈;制造工艺、安装;
关键词
紫外厚胶光刻; 电感; 三维微机械电感; 光刻胶;

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