首页> 中文会议>中国工程热物理学会2014年年会 >三维钟罩式多晶硅还原炉沉积特性的数值研究

三维钟罩式多晶硅还原炉沉积特性的数值研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

高纯多晶硅材料是太阳能光伏产业的重要原材料,是无法替代的重要战略资源和解决能源危机的重要物质保障.西门子法生产多晶硅是在一钟罩式还原炉中进行,该过程涉及许多复杂的物理化学现象,由于实际还原炉结构的复杂性及缺乏对化学反应沉积机理的认识,三维多晶硅还原炉CVD过程的数值研究一直是该领域的难点和热点.本文以12对硅棒还原炉为例,首次详细开展三维还原炉内多物理多化学场的耦合数值研究,讨论了两种进气情况下还原炉内流场、温度场及硅沉积率分布的变化情况,揭示出CVD过程中多晶硅的沉积特性,为工业多晶硅的生产和还原炉反应器的优化设计提供重要的理论指导和数据支撑.

著录项

来源
《中国工程热物理学会2014年年会》|2014年|1|共1页
会议地点西安
作者
刘鑫; 安莉莎; 刘迎文;
展开▼
作者单位

中国工程热物理学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.05;
关键词
多晶硅生产设备; 钟罩式还原炉; 沉积特性; 数值模拟;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 还原炉钟罩镜面抛光对多晶硅生产节能的影响 [J] . 李文强 ,王秉琳 ,王琪 . 电镀与涂饰 . 2015,第024期
2. 基于PolySim电子级多晶硅还原炉三维数值模拟 [J] . 李有斌 ,张胜涛 ,何银凤 . 人工晶体学报 . 2019,第1期
3. 基于Fluent对多晶硅还原炉的三维数值模拟及其优化 [J] . 姚心 ,汪绍芬 ,严大洲 . 有色冶金节能 . 2011,第004期
4. 基于数值模拟电子级多晶硅还原炉流动结构改进研究 [J] . 梁世民 ,张胜涛 ,何银凤 . 人工晶体学报 . 2019,第3期
5. 12对棒多晶硅还原炉传热的数值模拟研究 [J] . 徐远志 ,刘阳赞 ,侯彦清 . 云南冶金 . 2018,第001期
6. 西门子多晶硅还原炉内化学气相沉积过程模拟研究 [C] . 倪昊尹 ,陈彩霞 ,陆时杰 . 中国工程院化工、冶金与材料工程学部第九届学术会议 . 2012
7. 基于数值模拟电子级多晶硅生长还原炉耦合工艺研究 [A] . 张胜涛 . 2019

三维钟罩式多晶硅还原炉沉积特性的数值研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅