公开/公告号CN111286731B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-15
原文格式PDF
申请/专利权人 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司;
申请/专利号CN202010104902.5
申请日2020-02-20
分类号C23C24/04(20060101);C23C12/02(20060101);C01B33/035(20060101);
代理机构11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人覃蛟
地址 810000 青海省西宁市城东区经济技术开发区金硅路1号
入库时间 2022-08-23 11:25:24
机译: 钟罩的清洁方法,多晶硅的制造方法以及钟罩的干燥装置
机译: 钟罩清洗方法,多晶硅的制造方法以及干燥装置用钟罩
机译: 钟罩的清洁方法,多晶硅的制造方法以及钟罩的干燥装置