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钛酸锆铅薄膜二维铁电阵列制备

摘要

本研究以乙酸铅(Pb(CH<,5>COOH)·3H<,2>O)、销酸氧锆(ZrO(NO<,3>)<,2>·2H<,2>O)和钛酸丁酯(Ti(C<,4>H<,9>O)<,4>)为出发原料,以苯酰丙酮(BzAcH:C<,6>H<,5>COCH<,2>COCH<,3>)为螯合剂,甲醇为溶剂制备了感光性钛酸锆铅(PZT:Pb(Zr<,0.5>2Ti<,0.48>)O<,3>)凝胶薄膜,利用凝胶薄膜自身的感光性结合双光束激光干涉法制备了PZT薄膜的二维阵列和二维格子,获得的阵列周期约1μm,格点尺寸约500nm.

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