首页> 中文会议>中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会 >常压累积法氦质谱检漏的误差分析

常压累积法氦质谱检漏的误差分析

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

通过对常用的大气压累积法氦质谱检漏过程和标定技术的分析,导出了该方法所带来的系统误差的一般表达式.指出了消除系统误差.提高常压累积法氦质谱检漏准确度和可靠度的可能的努力方向.

著录项

来源
《中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会》|2002年|38-41|共4页
会议地点桂林
作者
康小录;
展开▼
作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类质谱仪;电真空测试技术与设备;
关键词
氦质谱检漏; 常压累积法; 误差分析;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 常压累积法氦质谱检漏的误差分析 [J] . 康小录 . 导弹与航天运载技术 . 2000,第004期
2. 多次压氦法和预充氦压氦法质谱细检漏方法研究 [J] . 王庚林 ,李宁博 ,李飞 . 中国电子科学研究院学报 . 2014,第001期
3. 压氦法和预充氦法氦质谱细检漏固定方案的设计 [J] . 王庚林 ,李飞 ,李宁博 . 中国电子科学研究院学报 . 2013,第006期
4. 氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序 [J] . 薛大同 . 真空科学与技术学报 . 2005,第z1期
5. 氦质谱检漏仪的误差分析 [J] . 裘国红 ,杜水友 . 中国计量学院学报 . 1999,第001期
6. 多次压氦法和预充氦压氦法氦质谱细检漏方法研究 [C] . 王庚林 ,李宁博 ,李飞 . 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 . 2013
7. 充压法氦质谱检漏的器件漏率双值求解和粗、细检漏的可靠衔接 [A] . 刘衍捷 . 2006

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号