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RF MEMS开关的优化设计研究

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为了获得高性能的RF-MEMS开关,用HFSS软件对RF-MEMS开关进行S参数仿真,对采用三种不同的介电常数的介质材料的开关以及在开关结构中引入微电感的开关进行了仿真.仿真结果与研制的开关样管实测结果基本吻合.结果证明:(1)选择高介电常数的介质膜材料,可提高开关的隔离度;(2)在开关结构中引入微电感和选择合适的材料可控制开关的适用频率.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|179-181|共3页
会议地点重庆
作者
朱健; 陈辰; 林立强;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM564.9;
关键词
RF-MEMS开关; HFSS; S参数; 隔离度; 介质膜材料; 微电感;

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