首页> 中文会议>第五届全国微米/纳米技术学术会议 >一种新型微机械陀螺的特性分析

一种新型微机械陀螺的特性分析

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

报道了一种新型结构微机械陀螺.新型陀螺的惯性质量块为栅型结构,由弹性悬臂梁支撑.驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方.驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼,且几乎相同.本文对这种新型陀螺的工作特性进行了理论分析,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响.实验测量结果表明,在大气状态下,驱动和敏感检测品质因子Q均达到67.

著录项

来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|247-249|共3页
会议地点重庆
作者
熊斌; 车录锋; 王跃林;
展开▼
作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
微机械陀螺; 微机械加工技术; 角速度传感器; 微电子机械加工;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种双自由度双级解耦微机械陀螺的特性分析 [J] . 陈伟平 ,韩天 ,王浩 . 传感技术学报 . 2007,第011期
2. 一种新型微机械陀螺仪结构方案设计与仿真 [J] . 温姣 ,常艳辉 ,梁永生 . 计算机光盘软件与应用 . 2010,第008期
3. 一种新型解耦硅微机械陀螺的设计 [J] . 张燕燕 ,侯朝焕 . 微纳电子技术 . 2008,第2期
4. 一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺 [J] . 陈永 ,焦继伟 ,熊斌 . 中国机械工程 . 2004,第002期
5. 一种新型微机械陀螺的研究 [J] . 熊斌 ,黄小振 ,王跃林 . 高技术通讯 . 2002,第009期
6. 一种新型的用于微机械陀螺的单端积分差分放大电路 [C] . 刘晓为 ,许娜 ,尹亮 . 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 . 2009
7. 一种新型微机械陀螺阵列设计 [A] . 韩莉莉 . 2014

一种新型微机械陀螺的特性分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅