一种新型解耦硅微机械陀螺的设计

张燕燕; 侯朝焕

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提出了一种新型静电驱动微机械陀螺结构,采用两组对称的梳齿结构作为驱动电极,同时采用中央质量块栅格和与驱动电极相同的梳齿两种结构检测感应模态的振动,每种结构设计两组独立的检测电极,分别采用差分方式进行检测,有效提高了陀螺的灵敏度。该陀螺结构的驱动模态和感应模态振动相互解耦,振动特性相似,固有频率、阻尼系数和品质因数等参数接近。采用有限元法分析了该结构的参数和特性,介绍了结构的制作流程。该结构谐振频率高、阻尼系数小,可达到较高的测量分辨率和准确率。

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来源
《微纳电子技术》 |2008年第2期|100-103|共4页
作者
张燕燕; 侯朝焕;
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作者单位

中国科学院声学研究所;

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正文语种 chi
中图分类设计、计算与制图;
关键词
微机械陀螺; 解耦; 有限元法; 栅状电极; 梳齿结构;

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