首页> 中文会议>第四届全国微米/纳米技术学术会议 >新型全硅LIGA掩模板制造工艺研究

新型全硅LIGA掩模板制造工艺研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文利用ICP硅深层刻蚀工艺,制备了一种全新的LIGA掩模板.与一般的LIGA掩模板比较,该掩模板的最大特色在于其支撑层和吸收层都是由硅材料构成,支撑层与吸收层之间没有结合力问题和热膨胀系数匹配问题.该X光掩模板还具有工艺简单、价格低廉等优点.理论分析表明,该掩模板在中长波长区域可以很好地满足同步辐射曝光的要求.利用该掩模板在北京同步辐射光源进行光刻,并进一步进行微电铸,均得到了比较理想的结果.

著录项

来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|24-26|共3页
会议地点上海
作者
陈迪; 雷蔚; 王水; 张大成; 伊福廷; 李昌敏; 郭晓芸; 毛海平;
展开▼
作者单位

上海交通大学;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN405.7;
关键词
LIGA掩模板; ICP深刻蚀; LIGA技术; 刻蚀工艺; 掩摸板; LIGA; 微电铸;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计 [J] . 陈文元 ,张卫平 ,周迪 . 微细加工技术 . 2000,第001期
2. 模板剂对全硅MCM-41介孔分子筛结构的影响 [J] . 刘雷 ,张高勇 ,董晋湘 . 物理化学学报 . 2004,第001期
3. 空间多曲面清水混凝土全木模板施工工艺研究 [J] . 许必强 ,汪焱卫 ,吴文奎 . 施工技术 . 2017,第014期
4. LIGA/准LIGA技术微电铸工艺研究进展 [J] . 李永海 ,丁桂甫 ,毛海平 . 电子工艺技术 . 2005,第001期
5. 微应力底模板的制造工艺研究 [J] . 崔洪才 . 新技术新工艺 . 2013,第009期
6. 剖析126拼装式全钢大模板在上海华为工程的应用——记奥宇拼装式全钢大模板的创新与应用 [C] . 仇铭华 . 2010年中国模板协会年会 . 2010
7. 电子束再生制造多晶硅熔体全熔时点的判断 [A] . 韩晓洁 . 2017

新型全硅LIGA掩模板制造工艺研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅