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ZnO薄膜的MBE制备与结构分析

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摘要

采用MBE技术在蓝宝石（1120）基片上生长出垂直取向的ZnO薄膜，在si（111）基片上生长出平行取向的ZnO薄腹，并分别讨论了基片材料、基片温度和生长速率对ZnO薄膜结构取向的影响。

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来源
《第六届全国固体薄膜学术会议》|1998年|82-84|共3页
会议地点成都
作者
王合英; 何元金;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
ZnO薄膜; 结构分析; 分子速外延;

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1. 应用L-MBE方法制备ZnO薄膜的结构和光学特性 [J] . 张世玉 ,李清山 ,张立春 . 新技术新工艺 . 2010,第012期
2. 生长温度对L-MBE制备的ZnO薄膜性能的影响 [J] . 徐庆安 ,张景文 ,杨晓东 . 半导体光电 . 2006,第3期
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